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用干冰清洁器清洁的问题-2-行业动态

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-25 6:56:10 * 浏览: 0
-湿气凝结-冷干冰和雪流往往会降低表面温度,并且湿气可能凝结。湿气凝结是清洁环境露点的函数。通常,除非水分“冻结”,否则水分凝结不会干扰清洁。清洁设置通常,有一种方法可以最大程度地减少水分凝结-最简单的方法是使用加热板作为样品架的一部分。热板的设定点通常高达100F,在湿度较低的环境中通常接受较低的温度。样品可以通过真空吸盘或其他专用钻头固定在加热板上。通常,当使用加热板时,水分凝结迅速消失并且样品具有足够的导热性。对于导热性较差的样品,例如较厚的玻璃板,可以使用头顶热风枪或灯。湿度控制的另一种选择是使用干燥箱,外壳或环境室进行吹扫或加热。所有这些都已成功证明。 -静电-清洁期间静电可能会积聚在表面上。这是由流动气体的电离引起的。显然,这种静电荷积累对于金属样品而言不是问题。根据我们的经验,如果样品接地,则静电不是问题。对于复杂结构上的玻璃样品或电绝缘组件,充电通常会更糟。对于这些情况,可以获得正电离源,并且可以抵抗电荷。这些单元可从许多来源商购获得。静态控制单元在自动化单元中的安装已完成,并产生令人满意的结果。 -进料压力-进料压力对于保持这些喷雪系统很重要。如果进料压力降低,则射流的速度降低。随着速度降低,去除有机污染物的能力会降低,直到没有有机物被去除为止。参照图2,从热力学上讲,随着供气瓶压力的下降,积雪的百分比会降低,直到没有积雪形成为止。对于液体进料源,压力的降低将导致降雪的百分比更高,但降雪的速度将会降低。降低的进料压力可以使用排气阀或通过使膨胀室直径远大于孔径来实现。减压进料的优点是易于清洁较小或更易碎的组件。 -自动化-一旦确定二氧化碳除雪清洁可以满足清洁要求,下一步就是将清洁过程整合到现有制造过程中。自动化清洁系统必须是可重复的,可靠的,并且必须提高制造过程的速度,安全性和经济性。上面讨论了设计和实现自动化系统中的一些问题。下面讨论与速度,设备,处理室和再沉积颗粒最小化相关的问题。执行清洁操作所需的移动轴越多,系统越昂贵。在自动清洁过程中,您可以选择握住部件并移动喷嘴,或固定喷嘴并移动部件,或两者结合。一个简单的步骤是旋转样品并清洁反向旋转,然后将喷嘴移出半径范围。另一种方法是设计自动系统以使喷嘴围绕样品移动。与图25中所示系统类似的第三种方法是固定喷嘴并允许样品在喷嘴下运输。标准喷嘴每次通过时仅清洁约四分之一英寸宽的条纹。因此,一块4英寸的正方形板可能需要16次通过才能覆盖整个表面,而一块4英寸宽的大面积喷嘴将在一次通过中清洁表面。对于大于1/2英寸的零件,扁平喷嘴将提供较短的清洁周期。随着清洁周期中运动量的增加,颗粒产生的风险增加。因此,保持这些运动不会在要清洁的表面上方或上方的任何位置发生。另外,自动化系统是连续操作,而不是批量操作。这意味着在清洁每个零件时,可以将其卸下并用于下一步生产,并装入新零件进行清洁。此外,通过固定喷嘴,清洁的部分(如果较大)h,可移入无尘室的保护环境中,以最大程度地减少再次污染。在某些应用中,可以将多个组件固定到载体上,并使用扁平喷嘴进行清洁,以提高清洁产量并降低每个组件的成本。选择一个环境室进行清洁也很关键。如上所述的水分控制是重要的考虑因素,并且自动化系统必须封闭在环境控制室中。可以加热腔室或腔室内的过滤空气流,或者可以用氮气冲洗腔室。任何这样的过程的目的是控制腔室的露点,以使水分在清洁过程中不会凝结。自动室也可以配备静电控制装置,以抵消任何表面电荷的积累。另外,这些腔室被设计为提供二氧化碳流,该二氧化碳流仅在一个方向上从喷嘴到样品,然后立即流向排气口。靠近侧壁的腔室中的湍流会引起腔室内的颗粒沉积,并可能导致将来的再污染问题。有趣的是,二氧化碳通常清洁腔室和被清洁的部件,从而限制了维护。通常,可以使用自动化系统。利用二氧化碳的物理特性,专有喷嘴可用于创建有效的清洁的,包含固体CO2的物流。提供的数据表明该方法可以去除所有尺寸的颗粒以及有机残留物。提供了许多示例,涵盖了不同材料,晶圆和处理设备的清洁。二氧化碳除雪清洁有许多应用,包括:-微电子-基材制备,引线键合垫,集成电路,混合材料,工具-光学-紫外线,红外和可见透镜,激光滤光片,基材清洁,镜子-表面分析-XPS ,Auger,SIMS,AFM / STM,清洁设备-真空技术-清洁真空系统和组件,沉积系统-污染控制-清洁洁净室和加工工具-基材制备-金属,硅片,陶瓷,聚合物审查用二氧化碳雪。这些问题包括二氧化碳纯度,源二氧化碳过滤,静电荷,湿气凝结和进料压力的重要性。通过关注这些细节,清洁过程可以自动化,并且可以从各种材料中清除颗粒和有机物。此外,二氧化碳除雪工艺还解决了工程师不仅在洁净室而且还在各种工业应用中面临的污染控制问题。